深耕近70年 完结国内干式真空泵多项零的突破

　　在半导体制作这个“纳米级微观手术”中，干式真空泵扮演着至关重要的人物。干式真空泵能快速、洁净地把芯片加工腔室里的空气和各种气体“抽走”，为芯片制作供给工艺所必需的洁净真空环境，完结薄膜堆积、刻蚀、离子注入、光刻等超微加工。

　　在新三板挂牌的中科仪，依托高真空、超高真空和超洁净真空技能优势，霸占了一系列工业共性、关键技能难题，致力于研制开发先进的干式真空泵、真空仪器设备，产品均到达世界同种类型的产品抢先水平，填补了国内同种类型的产品空白。

　　据了解，中科仪创建于1958年，其前身是我国科学院直属事业单位，是我国抢先的半导体制作设备核心部件供给商及真空科学仪器设备供货商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研制、出产、出售及有关技能服务。中科仪作为我国真空技能领域的领军企业，组建了国家真空仪器设备工程技能研究中心、真空技能装备国家工程实验室及国家企业技能中心，是国家级高新技能企业。

　　现在，中科仪干式真空泵已在国内多家闻名集成电路和光伏巨子企业经过工艺验证并批量运用，打破了欧美及日韩企业对同种类型的产品的长时间独占位置，完结集成电路工业核心部件国产化多项零的突破。

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